职位介绍:
1)在各个产品部门主要是反应器(Reactor)系统的设计和开发;
2)在晶圆传输平台(Platform)部,主要负责晶圆自动化传输系统的设计和开发。
主要职能:
1)参与反应器及相关系统的集成测试,涵盖机械结构、反应源输运系统、流场与流量控制、真空系统、特种加热器、加热系统与精准温控、等离子体与射频系统、量测传感、电气控制等领域。
2)协助系统集成工作,确保机械、电气、控制、传感等各子系统协调运行。
3)参与特种材料、材料分析、表面工程、精密加工、精密传动等领域的技术开发工作。
4)与机械工程与工艺、仿真、产品安全、知识产权、系统集成、材料表面处理等多个技术团队紧密合作。